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声学MEMS器件与系统
声学传感器作为高端检测仪器的核心传感部件,近年来在手势识别、距离测量、流量检测、无损检测、医学成像等高频领域以及水声传感器、声发射传感器等低频领域都有着巨大需求,牟笑静教授团队研发的基于AlN、PZT等材料的MEMS压电薄膜声学传感器应运而生。相较于其它声学传感器,MEMS压电薄膜声学传感器与 CMOS 工艺兼容良好,制备过程绿色环保,声匹配性相对较好,具备较高性能表现以及较低的能量损耗。本团队在压电声学传感器领域有着扎实的理论基础、丰富的技术积累以及成熟的芯片制备能力,已在水声传感器、声发射传感器、TOF相关领域(超声测距、流量检测等)取得突破性进展。随着声学传感器向小型化、阵列化、低成本和高集成度的方向发展,伴随着新兴应用、制造能力和技术储备对超声换能器“起飞”的助推,沿着国家科学仪器发展战略的道路,声学传感器必将打破国外的技术垄断,实现我国芯片发展的全面启航。
(1)微元声学传感芯片 (2)环形声学传感芯片 (3)5×5阵元声学传感芯片(4)超声测距试验(5)空气域/水域封装